Volfrámové rozprašovacie terče
Volfrámové rozprašovacie terče
Volfrámové naprašovacie terče zohrávajú kľúčovú úlohu v rôznych moderných technologických aplikáciách. Tieto terče sú nevyhnutnou súčasťou procesu naprašovania, ktorý sa široko používa v odvetviach, ako je elektronika, polovodiče a optika.
Vlastnosti volfrámu z neho robia ideálnu voľbu pre naprašovacie terče. Volfrám je známy svojou vysokou teplotou topenia, vynikajúcou tepelnou vodivosťou a nízkym tlakom pár. Tieto vlastnosti mu umožňujú odolávať vysokým teplotám a bombardovaniu energetickými časticami počas procesu naprašovania bez výraznej degradácie.
V elektronickom priemysle sa terče na naprašovanie volfrámu používajú na nanášanie tenkých vrstiev na substráty na výrobu integrovaných obvodov a mikroelektronických zariadení. Presné riadenie procesu naprašovania zaisťuje rovnomernosť a kvalitu nanesených filmov, čo je rozhodujúce pre výkon a spoľahlivosť elektronických komponentov.
Napríklad pri výrobe plochých displejov prispievajú k vodivosti a funkčnosti zobrazovacích panelov tenké volfrámové filmy nanesené pomocou rozprašovacích terčov.
V sektore polovodičov sa volfrám používa na vytváranie prepojení a bariérových vrstiev. Schopnosť nanášať tenké a konformné volfrámové filmy pomáha znižovať elektrický odpor a zvyšovať celkový výkon zariadenia.
Optické aplikácie tiež profitujú z volfrámových rozprašovacích terčov. Volfrámové povlaky môžu zlepšiť odrazivosť a trvanlivosť optických komponentov, ako sú zrkadlá a šošovky.
Kvalita a čistota volfrámových rozprašovacích terčov je mimoriadne dôležitá. Aj malé nečistoty môžu ovplyvniť vlastnosti a výkon nanesených filmov. Výrobcovia používajú prísne opatrenia na kontrolu kvality, aby zabezpečili, že ciele spĺňajú náročné požiadavky rôznych aplikácií.
Volfrámové naprašovacie terče sú nepostrádateľné pri rozvoji moderných technológií, ktoré umožňujú vytváranie vysokokvalitných tenkých vrstiev, ktoré poháňajú vývoj elektroniky, polovodičov a optiky. Ich neustále zlepšovanie a inovácie budú nepochybne zohrávať významnú úlohu pri formovaní budúcnosti týchto odvetví.
Rôzne typy volfrámových naprašovacích terčov a ich aplikácie
Existuje niekoľko typov volfrámových rozprašovacích terčov, z ktorých každý má svoje jedinečné vlastnosti a použitie.
Čisté volfrámové terče na naprašovanie: Sú zložené z čistého volfrámu a často sa používajú v aplikáciách, kde je nevyhnutný vysoký bod topenia, vynikajúca tepelná vodivosť a nízky tlak pár. Bežne sa používajú v polovodičovom priemysle na nanášanie volfrámových filmov pre prepojenia a bariérové vrstvy. Napríklad pri výrobe mikroprocesorov naprašovanie čistého volfrámu pomáha vytvárať spoľahlivé elektrické spojenia.
Naprašovacie terče zo zliatinového volfrámu: Tieto terče obsahujú volfrám kombinovaný s ďalšími prvkami, ako je nikel, kobalt alebo chróm. Terče z legovaného volfrámu sa používajú, keď sú potrebné špecifické vlastnosti materiálu. Príkladom je letecký priemysel, kde sa legovaný volfrámový rozprašovací terč môže použiť na vytváranie povlakov na súčastiach turbíny na zvýšenie odolnosti voči teplu a odolnosti proti opotrebovaniu.
Terče na rozprašovanie oxidu volfrámu: Používajú sa v aplikáciách, kde sa vyžadujú oxidové filmy. Využitie nachádzajú pri výrobe priehľadných vodivých oxidov pre dotykové displeje a solárne články. Vrstva oxidu pomáha pri zlepšovaní elektrickej vodivosti a optických vlastností konečného produktu.
Kompozitné volfrámové terče na naprašovanie: Pozostávajú z volfrámu kombinovaného s inými materiálmi v kompozitnej štruktúre. Používajú sa v prípadoch, keď je požadovaná kombinácia vlastností oboch zložiek. Napríklad pri poťahovaní zdravotníckych pomôcok sa môže použiť kompozitný volfrámový terč na vytvorenie biokompatibilného a odolného povlaku.
Výber typu volfrámového naprašovacieho terča závisí od špecifických požiadaviek aplikácie, vrátane požadovaných vlastností filmu, materiálu substrátu a podmienok spracovania.
Aplikácia Tungsten Target
Široko používaný v plochých panelových displejoch, solárnych článkoch, integrovaných obvodoch, automobilovom skle, mikroelektronike, pamäti, röntgenových trubiciach, zdravotníckych zariadeniach, taviacich zariadeniach a iných produktoch.
Veľkosti volfrámových terčov:
Cieľ disku:
Priemer: 10 mm až 360 mm
Hrúbka: 1 mm až 10 mm
Rovinný cieľ
Šírka: 20 mm až 600 mm
Dĺžka: 20 mm až 2000 mm
Hrúbka: 1 mm až 10 mm
Rotačný terč
Vonkajší priemer: 20 mm až 400 mm
Hrúbka steny: 1 mm až 30 mm
Dĺžka: 100 mm až 3000 mm
Špecifikácie terča na naprašovanie volfrámu:
Vzhľad: strieborný biely kovový lesk
Čistota: W≥99,95 %
Hustota: viac ako 19,1 g/cm3
Stav dodávky: Povrchové leštenie, CNC strojové spracovanie
Štandard kvality: ASTM B760-86, GB 3875-83
